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机电部合肥低温电子研究所研制的口径300mm低温泵通过技术鉴定

杨天信  
【摘要】:正 机电部合肥低温电子研究所承担的大规模集成电路基础研究项目—φ300mm低温泵8月10日通过了技术鉴定。 鉴定委员会由复旦大学、中国科技大学、合肥工业大学,安徽大学、上海技物所、中科院等离子体所、机电部43所等高校和研究所的10名专家和学者组成。经过审阅有关文件资

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