关于气体的微流量控制

【摘要】： <正> 一、引言气体的微流量控制在很多工艺中是非常重要的,尤其是现代科学技术的发展,不仅对气体本身的纯度与体态有较高的要求,而且在工艺使用中对气体的流量也有严格要求。特别是对特种气体的微小流量要求则更加严格。一般地说,气体微流量的控制情度对于分析试验数

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中国期刊全文数据库

前20条

1	唐剑平;;质量流量控制器的原理与维修[J];电子与封装;2002年02期
2	;质量流量控制器的原理和应用[J];中国仪器仪表;1994年02期
3	;质量流量控制器的原理和应用[J];中国仪器仪表;1995年02期
4	王长勋;5850i型质量流量控制器的原理及应用[J];石油化工自动化;2002年02期
5	李旺奎，张涤新，刘强，吕时良，李得天，孟扬，余锡盘;气体微流量标准装置[J];宇航计测技术;1995年06期
6	;CS系列气体质量流量控制器/流量计[J];中国集成电路;2009年04期
7	黄一祥;曾周末;靳世久;黄四萍;;多元气体配气仪设计及精度分析[J];现代科学仪器;2009年03期
8	孟扬,李旺奎;气体微流量标准装置的测控系统[J];真空科学与技术学报;1996年01期
9	赵建华;兰华永;陈滋健;李庄;赵崇文;;基于质量流量控制器的多组分动态配气系统研究[J];自动化仪表;2008年02期
10	王海波;陶国良;;全自动微小流量测试仪的研制[J];流体传动与控制;2003年01期
11	吴英;;热烈祝贺北京堀场汇博隆精密仪器有限公司开业[J];真空;2011年02期
12	;RQL—1型气体流量测试仪制成[J];仪器仪表与分析监测;1986年02期
13	陈永盛;;标定超微量气体流量的液柱移动法及对简易皂膜法稳流气源装置的改进[J];计量技术;1986年04期
14	;实验室用磁控溅射台[J];真空科学与技术;1991年06期
15	王国铮,陈秀珠;LV型气体流量计[J];自动化仪表;1994年10期
16	苏国辉;;空调设置防尘网对换热气流流量的影响及思考[J];冷藏技术;2001年03期
17	朱桂英,刘金海,朱天军,王磊磊;二级减压气体流量精确控制方法[J];河北建筑科技学院学报;2004年02期
18	张选生,王仪明,赵吉斌,施向东;真空输纸板气体流量控制与侧规拉纸力的匹配[J];机械设计与研究;2005年02期
19	陈福泉;;新型排气装置改进设计研究[J];通用机械;2006年04期
20	马国佳;刘喜亮;张华芳;武洪臣;彭丽平;蒋艳莉;;乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响[J];物理学报;2007年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	孔玉梅;尚志红;廖小雄;;质量流量控制器在超低温箱制冷系统调试中的应用[A];第三届电子产品可靠性与环境试验技术经验交流会论文集[C];2001年
2	胡树国;杨圣辉;吴海;李梦怡;;稀释法发生低含量硫化氢气体方法的研究[A];全国气体标准化技术委员会、全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组第四届成立大会暨四届一次联合会议论文集[C];2010年
3	杨福全;高军;顾佐;;微小流量热节流器性能测试[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
4	郭美如;张涤新;李得天;赵澜;;定容式气体微流量校准装置漏放气性能研究[A];真空获得与测量学术交流会论文集[C];2004年
5	张涤新;;气体微流量标准装置[A];中国真空学会科技进步奖（1994-2000）得奖人员论文集[C];2000年
6	胡玲;朱士明;梁军汀;卢杰;;不均匀流场对超声气体流量计测量的影响[A];中国声学学会2005年青年学术会议[CYCA'05]论文集[C];2005年
7	石成英;孙引朝;;密闭容器气密性快速检测方法研究[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
8	董丽芳;李树锋;刘富成;刘峰;刘书华;;介质阻挡放电中气流对放电特性的影响[A];中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会论文集[C];2005年
9	周奎;张旭;吴先映;;磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C：H(N)复合薄膜的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
10	花严红;袁卫星;袁修干;;一种微小流量离心压缩机叶轮性能的数值模拟[A];中国制冷学会2007学术年会论文集[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	魏列江;液体微小流量的非定常流测量原理与方法的研究[D];兰州理工大学;2009年
2	丁敏;微细圆管内火焰传播过程的数值研究[D];中国科学技术大学;2007年
3	何凯;七氟醚在不同气体流量下产生A物质浓度差异及对患者肝肾功能影响[D];中国协和医科大学;2008年
4	姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
5	刘英才;纳米硅材料的制备工艺研究及微观结构表征[D];山东大学;2003年
6	谢澄;生物流化床处理含氯漂白废水之研究[D];华南理工大学;2002年
7	张旭东;介质阻挡放电冷等离子体去除NO的研究[D];清华大学;2003年
8	周晖;非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜研究[D];兰州大学;2007年
9	李先祥;一步法从盈江含钪稀土矿石制取铝镁钪中间合金研究[D];昆明理工大学;2007年
10	孟建兵;大气常压等离子体弧清洗理论与关键技术研究[D];大连理工大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李虎;基于国际法的恶臭动态嗅觉仪研究[D];浙江大学;2012年
2	陈欣;人工心瓣热解炭涂层炉气体流量监视与控制系统的研究[D];杭州电子科技大学;2011年
3	陈诚;质量流量控制器的本地生产系统规划方案[D];上海交通大学;2012年
4	任术波;气体传感器的自动测试系统[D];大连理工大学;2002年
5	卢丹;基于LabVIEW的气体流量测试系统设计[D];南京理工大学;2010年
6	蒲实;气体稀释装置的软硬设计与实现[D];电子科技大学;2011年
7	毕金虎;气流式微富集系统研究与设计[D];延边大学;2011年
8	郑明广;示踪法测量大口径管道气体流量的研究[D];中国计量学院;2012年
9	刘涵;气体流量计算机的研究[D];浙江大学;2012年
10	马宪超;微量气体混合控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者王文韦;博士出站引领创新[N];首都建设报;2010年
2	通讯员冯林财;大庆石化公司微小流量气体检定系统开发成功[N];中国石油报;2008年
3	记者姚瑾;莆田有了气体流量实验室[N];福建日报;2009年
4	通讯员张飞;仪表安装工程公司袖珍型微小流量调节阀研制成功[N];中国石油报;2003年
5	记者李晓岩;气体流量在线监测有了国产装置[N];中国化工报;2003年
6	武汉王绍华;加热式气体流量传感器简介[N];电子报;2005年
7	全国炼钢连铸知识竞赛专家组;CAS精炼技术的发展与演变[N];中国冶金报;2007年
8	;走向世界的七星华创[N];中国电子报;2003年
9	记者王文韦;人才早“规划” 年中来问效[N];首都建设报;2010年
10	天津水泥工业设计研究院张卫民;新型流量计开始在水泥行业中应用[N];中国建材报;2005年

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