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PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究

王玉魁  李秀兰  王秀敏  高路斯  廖勇泉  韩会民  
【摘要】:介绍了等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)TiN涂层的工艺、组织结构和性能.研究了氮分压和靶功率对涂层相组成和性能的影响,讨论了Ti2N对涂层硬度的影响.实验结果表明,由Ti2N和Tin两相组成的涂层硬度高,显著提高刀具耐用度.

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