柔性衬底上铝背电极制备及相关特性研究
【摘要】：采用射频磁控溅射技术在聚酰亚胺柔性衬底上制备硅基薄膜太阳能电池用铝背电极,研究了不同溅射功率和工作气压条件对铝电极薄膜性能的影响.利用原子力显微镜分析表征了薄膜的表面形貌和粗糙度,薄膜的电学性能和光学性能分别采用四探针测量仪和紫外可见近红外分光光度计进行分析表征.测试结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜表面均方根粗糙度迅速增加,漫反射率提高,薄膜的最高平均漫反射率高达70%;同时薄膜电阻率降低.工作气压为0.5Pa时所制备的薄膜具有较低的电阻率和良好的漫反射率.综合考虑薄膜的电学性能与光学性能,薄膜的最佳制备条件为溅射功率300～450W、工作气压0.5Pa.
|
|
|
|
| 1 |
金良茂;甘治平;王芸;柴卫平;;氢化纳米硅薄膜及其太阳电池[J];化工进展;2010年S2期 |
| 2 |
张明福;许文彬;沈海涛;王家智;韩杰才;;透明导电氧化物薄膜研究的新进展[J];压电与声光;2010年05期 |
| 3 |
邱永华;史伟民;魏光普;徐环;林飞燕;;真空蒸发法制备SnS薄膜及其光电性能研究[J];光电子.激光;2006年07期 |
| 4 |
陈记寿;徐爱忠;刘丹;;激光刻蚀ITO薄膜工艺研究[J];武汉理工大学学报;2010年22期 |
| 5 |
;新能源材料[J];新材料产业;2008年04期 |
| 6 |
郭杏元;许生;曾鹏举;谭晓华;严松涛;范垂祯;;直流磁控溅射制备大面积AZO透明导电薄膜[J];真空;2010年04期 |
| 7 |
陈光华;非晶半导体薄膜最新进展[J];物理;1995年04期 |
| 8 |
朱立群;陈海宁;李卫平;;SiO_2溶胶在电沉积法制备CuInS_2薄膜中的作用[J];航空学报;2009年11期 |
| 9 |
岳红云;吴爱民;冯煜东;胡娟;张学宇;李廷举;;柔性衬底上铝背电极制备及相关特性研究[J];大连理工大学学报;2011年02期 |
| 10 |
杨田林,张德恒,李滋然,马洪磊,马瑾;射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究[J];太阳能学报;1999年02期 |
| 11 |
杨田林,韩圣浩,高绪团,杨光德;有机衬底SnO_2掺Sb透明导电膜的制备[J];太阳能学报;2003年02期 |
| 12 |
张化福;袁玉珍;刘云燕;;柔性透明导电薄膜ZAO[J];液晶与显示;2008年04期 |
| 13 |
张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期 |
| 14 |
董林;马莹;李豪;贾晓林;;柔性ITO衬底电化学沉积制备Cu/Cu_2O薄膜[J];发光学报;2007年05期 |
| 15 |
刘汉法;张化福;类成新;袁玉珍;袁长坤;;利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文)[J];液晶与显示;2009年02期 |
| 16 |
张化福;类成新;刘汉法;袁长坤;;利用直流磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr新型透明导电薄膜(英文)[J];人工晶体学报;2009年03期 |
| 17 |
郝晓涛,马瑾,徐现刚,杨莺歌,张德恒,杨田林,马洪磊;有机衬底SnO_2:Sb透明导电膜的制备与特性研究[J];物理学报;2002年02期 |
| 18 |
郝晓涛,马瑾,马洪磊,杨莺歌,王卿璞,黄树来;薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响[J];液晶与显示;2002年03期 |
| 19 |
张化福;类成新;刘汉法;袁玉珍;袁长坤;;在柔性衬底上制备透明导电薄膜ZnO:Zr(英文)[J];半导体技术;2009年02期 |
| 20 |
何维凤;赵玉涛;李素敏;李长生;;柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景[J];材料导报;2005年03期 |
|
手机打开
快捷付款方式
订购知网充值卡
订购热线
帮助中心