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(Ti,Zr)N复合薄膜的微观结构及性能

高玉周  史雅琴  林国强  严立  
【摘要】:利用电弧离子镀方法 ,对独立的Ti靶和Zr靶的电流进行控制 ,成功地在高速钢基体上制备了不同成分配比的 (Ti,Zr)N薄膜 .透射电子显微镜结果表明 :(Ti,Zr)N薄膜为单一的fcc结构 .采用X射线衍射分析显示 :(Ti,Zr)N薄膜出现分离的 (Ti,Zr)N、(Zr ,Ti)N、TiN、ZrN的混合相结构 .(Ti,Zr)N膜层随弧电流的增加 ,择优取向从 (2 2 0 )→ (111) (2 2 0 )→ (111)变化 .显微硬度测试表明 ,薄膜具有很高的硬度 ,在较宽的成分范围内硬度基本保持一致 .同时探讨了 (Ti,Zr)N薄膜的宏观残余应力、显微硬度之间的关系及其微观机制 .

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