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光反馈光腔衰荡技术同时测量高反膜S和P偏振反射率

崔浩  李斌成  肖石磊  王静  王亚非  高椿明  
【摘要】:提出采用光反馈光腔衰荡技术同时测量高反膜的S(垂直于入射平面)和P(在入射平面内)偏振反射率的方法,通过将一束具有一定偏振比、光强方波调制的偏振光入射到衰荡腔中,在调制方波下降沿记录从衰荡腔腔镜透射的光腔衰荡信号,通过双指数拟合得到S、P相应的衰荡时间,从而计算得到高反膜S、P偏振光的反射率。与采用纯S(P)光测量得到的偏振反射率相比,S和P偏振反射率偏差分别仅为1 ppm和15 ppm,证明了同时测量结果的正确性。与传统光腔衰荡测量高反膜偏振反射率方法相比,该测量方法装置简单,操作方便,测量更快速。

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