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基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In_(0.1)Ga_(0.9)As贴膜微机械陀螺的设计

罗文华  温廷敦  毛海央  熊继军  吴瑞  
【摘要】:首先说明了微机械陀螺的四种传统检测方法的局限性,然后设计了一种新型的基于介观压阻效应的GaAs/AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺,指出了该陀螺设计时应注意的几个方面,并且利用介观压阻理论分析得出用共振隧穿薄膜作为敏感元件能将微机械陀螺的灵敏度提高一个数量级,证明了介观压阻效应的微陀螺比传统压阻检测方式的微陀螺具有更高的灵敏度和精度。

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