收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

邹丽芸  张院春  彭良强  黄军容  伊福廷  张菊芳  韩勇  
【摘要】:比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
2 彭良强,伊福廷,张院春,邹丽芸,张菊芳,韩勇;LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究[J];微细加工技术;2002年02期
3 王振龙,赵万生,狄士春,迟关心;微细电火花加工技术的研究进展[J];中国机械工程;2002年10期
4 王克锡;微细电火花加工的发展现状与展望[J];世界制造技术与装备市场;2000年01期
5 郭永丰 ,赵万生 ,耿春明;电火花加工最新技术进展[J];航空制造技术;2003年01期
6 赵万生,刘维东,韦红雨,宋博岩;多电极直接驱动的微细电火花加工技术[J];电加工与模具;1997年02期
7 李勇,王显军,郭,周兆英,严晓敏,胡敏;微细电火花加工关键技术研究[J];清华大学学报(自然科学版);1999年08期
8 伊福廷,唐鄂生,张菊芳,晋明,洗鼎昌;利用LIGA技术制造夹钳[J];微细加工技术;1999年03期
9 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工与模具;1999年05期
10 李文卓,赵万生,于云霞;微细电火花加工的关键技术分析[J];石油大学学报(自然科学版);2002年03期
11 张勇,王振龙,胡富强,赵万生;微细电火花加工装置的设计与应用[J];微细加工技术;2004年02期
12 袁义坤;赵增辉;王育平;郭钦贤;;微机械制造技术发展及其应用现状[J];煤矿机械;2006年09期
13 王振龙,赵万生;微制造系统中的微细电火花加工技术[J];制造技术与机床;2003年09期
14 王振龙栾,英艳,赵万生,张晓东;微细电火花加工中的电极在线制作与检测[J];电加工与模具;2000年03期
15 王振龙,孟庆鑫,赵万生,迟关心;分层去除微细电火花铣削加工的NC程序生成[J];航空精密制造技术;2002年05期
16 王振龙,夏良俊,赵万生;半导体硅材料的电火花加工技术研究[J];电加工与模具;2004年01期
17 敖明武,张勇,李志勇;微细电火花加工用微能脉冲电源的研制[J];航空精密制造技术;2003年06期
18 增泽隆久,陈典正;电火花微细加工[J];模具工业;1993年11期
19 王振龙,赵万生,刘光壮;基于分层制造原理的微细电火花加工技术研究[J];机械工程学报;2002年02期
20 韩春奎;;电火花加工的自动伺服系统通过鉴定[J];电加工与模具;1986年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
2 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
3 赵万生;郭永丰;耿春明;;国外电火花加工最新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
5 陈迪;蔡炳初;;LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
6 梁速;徐辉;陈默;康小明;赵万生;卢智良;万符荣;吴强;吴国兴;朱宁;;5轴联动电火花加工数控系统研制[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
7 张云鹏;孙广标;张安洲;;超声磨料对TC4钛合金电火花加工表面质量的影响[A];陕西省机械工程学会特种加工分会第九届学术年会论文集[C];2010年
8 任连生;郭妍;刘萍;庞宇;;电火花加工中专用步进电机控制系统研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
9 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
10 周明;贾振元;孙爱芹;郭丽莎;;微细电火花放电间隙的状态检测[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 付秀琢;压电自适应微细电火花加工技术及机理研究[D];山东大学;2012年
2 李磊;集束电极电火花加工性能研究[D];上海交通大学;2011年
3 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
4 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
5 郑新毅;深微孔电火花加工关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
6 王庆祎;多功能微型机床及其加工技术的研究[D];天津大学;2010年
7 赵伟;电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究[D];西北工业大学;2003年
8 刘宇;微细电火花加工中集肤效应的影响机理及相关技术研究[D];大连理工大学;2011年
9 周明;微细电火花加工放电状态辨识与预测的理论和方法[D];大连理工大学;2006年
10 谷安;四轴电火花数控系统的开发及研究[D];南京航空航天大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王辉;混粉电火花加工中粉末效应的研究[D];大连理工大学;2005年
2 袁方;电火花深孔套料加工研究[D];西安石油大学;2010年
3 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
4 冀震晓;钛合金电火花加工脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 吴勇;复杂型面电火花加工CAM技术研究[D];上海交通大学;2011年
6 黄军容;LIGA技术高深宽比研究[D];北京工业大学;2003年
7 张龙;混粉电火花加工及其镜面加工技术的实验研究[D];大连理工大学;2003年
8 武云霞;石墨电极电火花加工工艺研究[D];广东工业大学;2004年
9 王元刚;基于正交设计的混粉电火花加工技术仿真研究[D];大连理工大学;2005年
10 佟玉斌;便携式电火花加工机的研究[D];山东大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 杨虎军;DEM三维微加工能手[N];中国矿业报;2000年
2 本报记者 杨红英;应急之需 新厂房为年产千台作保障[N];机电商报;2005年
3 王艳 赵峰;服务油泵油嘴行业 鲁南机床系列专机受青睐[N];机电商报;2008年
4 本报记者 兰海侠;电加工机床前景看好 国内电加工行业呼唤产业升级[N];机电商报;2008年
5 袁伟;一航黎阳转包生产进入快速发展期[N];中国航空报;2006年
6 刘献礼;PCBN刀具在中国市场的应用现状与思考[N];机电商报;2005年
7 本报记者 陈蕾;深耕十载 鲁南机床谋为发动机加工提供成套设备[N];机电商报;2007年
8 本报记者 李志;做知识型的产业工人[N];辽宁日报;2008年
9 徐正平郑欢欢;新款石墨加工中心亮相国际模具展[N];中国工业报;2008年
10 本报记者 王家东;孚尔默:以策略引领电加工机床市场[N];机电商报;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978