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扇出型芯片键合设备开发思路及整机框架结构设计与仿真

郭耸  张瑞平  赵滨  
【摘要】:为了提高扇出型芯片的键合精度,设计了一种采用内外部架构的扇出型芯片键合设备。通过主动减振器实现内外部架构的隔离,从而提高了键合设备的键合精度;具有广阔的市场前景。

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