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G2.5高分辨率TFT扫描投影曝光机

周畅  高孝裕  李喜峰  
【摘要】:高分辨率TFT曝光技术随着第三代显示技术--AMOLED显示技术和高PPI显示技术的发展,已经成为平板显示的最关键技术之一,实现高分辨曝光的TFT曝光机也是ARRAY段最核心设备。介绍了可用于G2.5代TFT玻璃基板制造的高分辨率扫描投影曝光机SSB225/10,并以实际测试数据及制造成功的AMOLED显示器件表明该设备能够很好地满足LTPS-TFT工艺要求。

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