相移掩模清洗结晶控制

【摘要】：在高端集成电路制造方面,普通二元掩模已经不能满足晶圆使用要求。目前,高端(线宽0.18μm以下)集成电路生产主要采用相移掩模。相移掩模(Phase Shift Mask)制作过程中,掩模表面结晶(Haze)问题较难控制。为了控制和解决相移掩模表面结晶问题,提高成品率,主要讨论了不同的清洗工艺(Recipe)对相移掩模结晶的影响。然后通过实验验证了通过优化清洗工艺(Recipe),可以明显改善相移掩模表面结晶问题,达到控制相移掩模表面结晶的目的。

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前20条

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2	;集成电路生产的优化调度——理论模型、算法与系统仿真[J];系统仿真技术;2009年02期
3	王莹;集成电路是这样制成的——参观首钢日电1.2μm集成电路生产线[J];电子产品世界;1995年10期
4	;我国西北第一条6英寸集成电路生产线正式开工[J];集成电路应用;2005年05期
5	朱海英;黄其煜;;集成电路工业的废气处理[J];中国集成电路;2008年02期
6	丁丁;;集成电路的电磁兼容测试[J];安全与电磁兼容;2008年03期
7	贵根;国内外集成电路生产水平比较[J];半导体光电;1988年03期
8	王勃华;;我国半导体设备业呈现四大亮点[J];半导体行业;2005年01期
9	钱小工;;日本集成电路年生产额增长迅速[J];微纳电子技术;1989年02期
10	;首钢日电为中国半导体产业增光添彩[J];中国电子商情;1996年06期
11	;中国集成电路产业持续向好[J];集成电路应用;2004年04期
12	“建设微电子强国”咨询组;;建设微电子强国的建议[J];中国科学院院刊;2006年06期
13	;8英寸100纳米高密度等离子刻蚀机(NMC508A)[J];中国集成电路;2007年08期
14	章从福;;西安西岳电子6英寸集成电路生产线开工建设[J];半导体信息;2005年04期
15	王芹生;;创新是集成电路设计业永恒的旋律[J];中国集成电路;2007年11期
16	徐森录;;国外大规模集成电路生产中的光学技术应用概况[J];电子工业专用设备;1979年01期
17	沈国雄;;光学曝光的潜力与前景[J];光电工程;1984年06期
18	;中国半导体行业协会集成电路分会简介[J];电子元器件应用;2001年04期
19	阙珑，孙国良，冯伯儒;相移掩模模拟软件研究[J];微细加工技术;1995年02期
20	沈锋，冯伯儒，孙国良;相移掩模对曝光图形空间像光强分布影响的计算机模拟[J];微细加工技术;1995年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘宝林;华泽钊;任禾盛;;食品及生物材料低温保存过程中的低温断裂问题[A];上海市制冷学会一九九七年学术年会论文集[C];1997年
2	刘崭;谢续明;;梳状共聚物PAA-g-mPEG侧链受限结晶行为研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
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4	罗伟昂;杨金;李运波;陈旭东;麦堪成;章明秋;;聚对苯二甲酸丙二醇酯荧光光谱性能研究[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2007年
5	王建军;戴礼兴;高强;吴鹏飞;王新波;;电纺聚二茂铁硅烷纤维及其性能研究[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2007年
6	徐君庭;李英;傅智盛;范志强;;多步序贯聚合和两步聚合制备的PP/EPR反应釜合金的形态[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2009年
7	张文龙;孙启泉;陈永明;帅心涛;;两亲性牙刷形聚合物的合成及其在药物输送中的应用[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（下册）[C];2009年
8	李春芳;李东祥;周建华;冯圣玉;;碳硅烷树枝状大分子-铂络合物的结晶与形态研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
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10	王劲;唐屹;曾晓丹;王剑;赵炜;李黎;谢美丽;顾宜;;聚酰亚胺复合膜的制备及性能研究[A];第五届全国覆铜板技术·市场研讨会暨2004年行业年会报告·论文集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	秦立篷;Spindlin1的蛋白结构解析及相互作用蛋白的寻找[D];中国人民解放军军事医学科学院;2005年
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7	袁俊生;离子交换法海水提钾技术的应用基础研究[D];天津大学;2005年
8	林畅;冷冻解冻法破除油包水型乳状液的研究[D];大连理工大学;2007年
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10	刘超男;碱减量废水的处理研究[D];东华大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	何继烈;三单体废水资源化处理工艺设计[D];南京农业大学;2005年
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3	赵维宏;BHT生产新工艺的研究与开发[D];天津大学;2004年
4	徐燕芬;聚丙烯新型成核剂的制备与应用研究[D];四川大学;2005年
5	胡南祥;提高硫脲堆积密度的研究[D];四川大学;2005年
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7	李文强;唾液酸发酵控制及其分离纯化的研究[D];江南大学;2005年
8	崔立宝;新型三聚氰胺装置的设计与研究[D];青岛科技大学;2008年
9	乌志明;Li～+，Mg～（2+）//CI～-—H_2O体系结晶法分离研究[D];中国科学院青海盐湖研究所;2000年
10	曹清洁;障碍Voronoi图的结晶生成[D];河北师范大学;2004年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	林林;蜂蜜种类巧判断[N];中国医药报;2000年
2	刘锋;苏州将建国内最先进的集成电路生产线[N];科技日报;2008年
3	;艺术与科技的结晶[N];中国计算机报;2004年
4	刘曙甲刘志伟;结晶氮化碳薄膜与金刚石争高低[N];科技日报;2003年
5	郝勤学;华天公司再行义举帮助建二小学重建[N];天水日报;2008年
6	小余;如何选购蜂蜜[N];人民政协报;2001年
7	耀文;王军民在烟台调研时提出山东IC产业要取得更大突破[N];中国电子报;2008年
8	本报记者刘一新;新品和特许经营的结晶——SOD爱吉果[N];中华合作时报;2003年
9	特约撰稿张云;康佳C926时尚与科技的结晶[N];通信信息报;2004年
10	方人;胆识和毅力的结晶[N];青海日报;2003年

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