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移相式泰曼格林干涉仪的实验与研究

曾新勇  
【摘要】:本文深入研究了移相干涉术的原理和算法,研制了移相干涉术的关键部件——PZT(piezoelectric Transducer)移相器。编制了整套通讯、图像采集、波面复原等一系列软件包,组合了光、机电、算相结合的,融硬、软件于一体的移相干涉术自动分析实验系统PSI(Phaseshifting Interfetometer移才干涉仪),并作了高精度、自动、实时的实验研究;结果表明:PSI系统具有良好的系统重复性,实现了泰曼—格林干涉仪测量的高精度、自动、实时和定量,精度可达λ/50。

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