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锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应

程晋荣  徐东  孟中岩  
【摘要】:用溶胶-凝胶法在 Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电 PZT薄膜在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应、内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应。

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