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锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应

程晋荣  徐东  孟中岩  
【摘要】：用溶胶－凝胶法在 Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）基片上制备了近等原子比的压电 ＰＺＴ薄膜在准同型相界附近的ＰＺＴ薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应、内电场导致薄膜的自发极化定向，使薄膜未经极化就具有明显的压电响应。

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