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影响磁控溅射不锈钢粘附性的因素

王福会  楼翰一  
【摘要】:本文用动态拉伸法研究了基体温度和 Ar 气压力对磁控溅射不锈钢膜与碳钢基体间粘附性的影响。结果表明,基体温度为400℃,Ar 气压力为133—467mPa(1-3.5×10~(-3)mmHg)为最佳。

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