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光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案

胡广领  
【摘要】:光刻机是一种高度精密、高度集成,包含很多电力电子器件的设备。其主要控制器件几乎全部集成在各种机箱里。因为各种元器件安装密集度很高,导致各种电力电子器件之间的电磁干扰问题越来越突出,严重影响光刻机整台设备的性能和MTBF指标。因此,光刻机的机箱必须具有较高水平的电磁兼容能力,才能保证整台设备的EMC性能,所以解决光刻机各种机箱电磁兼容性是刻不容缓的一个课题。

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