收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

PLD制备DLC的研究进展

张金平  
【摘要】:介绍了DLC薄膜优良的特性及应用,阐述了脉冲激光沉积(PLD)方法的工作原理及其优缺点,设计了制备DLC的PLD装置,分析了国内外用PLD制备DLC超硬薄膜的现状和发展方向。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;1984年度我校科学技术研究成果[J];西安交通大学学报;1985年02期
2 肖觉民;;高频等离子体中生长碳膜的初探[J];工具技术;1986年07期
3 陈蔚然;新碳素材料的发展方向[J];电气应用;1987年03期
4 柴璋;李碧钦;胡中波;;等离子体化学气相沉积法生长薄膜材料的进展[J];功能材料;1987年06期
5 郑昌琼;;金刚石薄膜研究进展[J];四川大学学报(工程科学版);1988年05期
6 涂铭旌,郑昌琼,冉均国;(类)金刚石薄膜及其工业应用[J];兵器材料科学与工程;1989年08期
7 三谷力,黑川英雄,米沢武敛,赵秀英;类金刚石薄膜在录象带中的应用[J];微细加工技术;1990年Z1期
8 吴琼;;引人注目的新材料——金刚石薄膜[J];功能材料;1990年03期
9 王和照;;类金刚石碳膜的制备及其应用[J];新技术新工艺;1990年05期
10 高克林,詹如娟,邹祖平,王燕霞,项志遴,刘宏图,吴志强,叶坚,周贵恩,王昌遂;低温等离子体沉积类金刚石薄膜[J];核聚变与等离子体物理;1991年03期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
3 储艳秋;锂离子电池薄膜电极材料的制备及其电化学性质研究[D];复旦大学;2003年
4 李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
5 李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
6 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
7 王新昌;脉冲激光沉积法制备硅基LiNbO_3薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2005年
8 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
9 王天生;YBa_2Cu_3O_(7-δ)和MgB_2超导薄膜的制备及微观结构表征[D];燕山大学;2006年
10 张银珠;脉冲激光沉积法生长ZnMgO合金薄膜和Li-N共掺p型ZnO薄膜及紫外探测器的研制[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑芳;脉冲激光沉积氮化碳薄膜及其生长机理研究[D];河北大学;2000年
2 段苹;CVD法低温合成纳米金刚石薄膜及其动力学研究[D];河北大学;2001年
3 韦珏;ZnO荧光薄膜的脉冲激光沉积[D];郑州大学;2001年
4 奚小网;脉冲激光沉积(PLD)法制备NiZn铁氧体多晶薄膜研究[D];苏州大学;2002年
5 朱绍将;CMR薄膜的制备及其Bolometer应用研究[D];昆明理工大学;2003年
6 朱小红;(Ba,Sr)TiO_3薄膜和(Ba,Sr)TiO_3/YBa_2Cu_3O_(7-δ)异质薄膜的脉冲激光沉积制备及性能研究[D];四川大学;2003年
7 李德红;STO/YBCO集成薄膜的脉冲激光沉积及性能研究[D];电子科技大学;2003年
8 张灿云;常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究[D];湘潭大学;2003年
9 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
10 訾振发;纳米ZnO的制备、微结构及其特性的研究[D];安徽大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978