收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

粗硅精炼制多晶硅

戴永年  马文会  杨斌  刘大春  徐宝强  韩龙  
【摘要】:现今太阳能光伏产业蓬勃发展,推动了多晶硅的生产和应用,冶金法精炼粗硅(MG-Si)制太阳能级多晶硅(SOG-Si)的研究和产业化受国际重视。二十余年来做了大量工作,有一些已具较好的效果,达到百公斤的规模。本文把一部分研究概括分析,以图得到一些规律和基本认识。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 丁成玉;低压化学气相淀积(LPCVD)技术简介[J];半导体技术;1980年03期
2 邮电五○八厂编写组;制做集成电路芯片的工艺技术(二)[J];半导体技术;1980年05期
3 林应新;硅烷热分解汽相淀积多晶硅[J];华中科技大学学报(自然科学版);1980年02期
4 张华民;氟油(掺氧)等离子蚀刻多晶硅、氮化硅[J];华中科技大学学报(自然科学版);1980年S3期
5 陈中佛;新的超大规模集成电路工艺[J];微电子学;1980年01期
6 王秀春;将二氧化硅上的多晶硅进行激光退火来制作MOS场效应晶体管[J];微电子学;1980年01期
7 王秀春;通过多晶硅选择氧化同时形成层间绝缘膜和漏源区[J];微电子学;1980年03期
8 谢克佳;等离子体退火对多晶硅电特性的影响[J];微电子学;1980年03期
9 苏万市;500MHz低噪声宽带单片集成电路[J];微电子学;1980年04期
10 范杰;集成工艺及设备发展简况[J];微电子学;1980年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李晓红;毛唯;程耀永;;IC6合金铸造裂纹的补焊-大间隙钎焊工艺研究[A];第九次全国焊接会议论文集(第1册)[C];1999年
2 陈盘训;周开明;;CMOS电路X射线辐射效应[A];第8届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(二)[C];1996年
3 林揆训;林璇英;梁厚蕴;池凌飞;余楚迎;石旺舟;姚若河;黄创君;杨坤进;;铝诱导的非晶硅薄膜低温快速晶化[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 孟凡英;崔容强;周之斌;孙铁囤;;多晶硅晶界精细分布模型[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
5 孟凡英;周之斌;孙铁囤;崔容强;;光照条件下多晶硅晶界复合理论研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
6 于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
7 王启元;林兰英;王建华;邓惠芳;蔡田海;郁元桓;;单晶硅中与氢有关的红外吸收光谱分析[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8 马莉;;APCVD化学气相沉积镀膜技术在太阳电池生产中的应用[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
9 张培玉;郝一龙;李婷;王颖;刘诗美;陈文茹;武国英;;微机械光开关中的微扭转镜阵列[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
10 陈君;席珍强;杨德仁;李先杭;;铸造多晶硅太阳电池表面织构化的研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 胡恒升;薄氧化硅可靠性及击穿机理研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 李牧菊;高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
3 刘祖明;晶体硅太阳电池及其电子辐照研究[D];四川大学;2002年
4 廖华;薄膜太阳电池及其陶瓷硅衬底材料的制备和电子辐照研究[D];四川大学;2003年
5 祝逢春;半导体桥点火数值模拟与试验研究[D];南京理工大学;2004年
6 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
7 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
8 蒋玉龙;用于亚0.1μmCMOS器件技术中的镍硅化物研究[D];复旦大学;2005年
9 曹睿;γ-TiAl基合金的损伤及断裂行为研究[D];兰州理工大学;2006年
10 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
2 郜小勇;高效、低成本太阳电池的研究[D];郑州大学;2001年
3 谷锦华;化学腐蚀织构多晶硅电池的绒面和机械刻槽电池的研究[D];郑州大学;2002年
4 张坤;多晶硅薄膜场效应结构的晶粒间界能态分布[D];暨南大学;2003年
5 李素文;薄膜太阳电池的研究[D];合肥工业大学;2003年
6 查超麟;快速热扩散炉及快速扩散的研究[D];云南师范大学;2003年
7 徐淑霞;多晶硅高温压力传感器设计[D];沈阳工业大学;2003年
8 廖燕平;准分子激光晶化多晶硅的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
9 孙晓峰;多晶硅绒面的制备及在太阳电池中的应用[D];郑州大学;2004年
10 俞征峰;铸造多晶硅材料中氧缺陷的研究[D];浙江大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;国内最大的太阳能电池基地在建[N];安徽经济报;2000年
2 吴映红;光伏技术、产业及市场[N];中国电子报;2000年
3 记者 王宏;英利绿色能源将照明无电户[N];中国经济时报;2000年
4 ;中意合作促进国家多晶硅太阳电池攻关项目[N];科技日报;2000年
5 徐文;我国建设国内规模最大的太阳能开发生产基地[N];科学时报;2000年
6 名尧;关注太阳电能[N];山东科技报;2000年
7 欧来腾;为企业二次创业扬帆护航[N];中国有色金属报;2000年
8 欧来腾 陈秀荣;峨半厂将建成我国最大多晶硅生产基地[N];中国有色金属报;2000年
9 李斌;我国投资兴建太阳能“电站”[N];中国环境报;2001年
10 徐美君;太阳能玻璃的开发与应用[N];中国建材报;2001年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978