离子注入射程分布的计算机模拟系统
【摘要】：介绍了自主开发的基于输运理论和蒙特卡罗方法的计算离子注入射程分布的软件集成系统JTU -PRII(JiaotongUniversity -ProjectRangeIonImplantation) ,该系统整体上具有通用性、高效性和实用性 .通用性即 :该系统具有注入离子参数库和注入零件材料库的生成和调用功能 ,能计算各种注入条件下 ,包括各种注入离子 ,各种成分和形状的靶材 ,不同注入能量、注入剂量和注入角度时注入离子在靶材中的分布 ;高效性即 :由于在关键步骤中用数值拟合公式代替了数值迭代求解 ,用固定飞行路程代替随机路程 ,使计算效率大大提高 ,计算速度大大加快 ;实用性即 :由于考虑了溅
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张永恩,夏日源,丛培杰,韩景明,张建华;用~(14)N~+注入提高钢材耐磨性的研究[J];物理;1983年02期 |
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李岱青，任廷琦，万亚，宫宝安，徐天冰;稀土Yb~＋注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延结晶研究[J];青岛大学学报(自然科学版);1994年03期 |
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李岱青，任廷琦，万亚，宫宝安，徐天冰;350keV Yb~＋注入Si（100）的射程分布和晶格损伤研究[J];烟台师范学院学报(自然科学版);1994年04期 |
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江炳尧,张福民,孙义林,陈酉善,柳襄怀;离子束增强沉积Si_3N_4/Si多层红外干涉滤波薄膜[J];材料研究学报;1997年05期 |
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张联盟,沈强,李俊国,王国梅,涂溶,陈立东,平井敏雄;Sn离子注入PbTe的热电性能和结构[J];物理学报;1999年12期 |
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蔡王旬,王位,夏立芳,陆明炯;离子注入射程分布的计算机模拟系统[J];材料科学与工艺;1999年S1期 |
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王位,蔡珣,陆明炯,夏立芳;模拟离子注入射程分布的软件集成系统[J];机械工程材料;2001年04期 |
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杨建华;强束流Ta离子注入铝的研究[J];理化检验.物理分册;2001年06期 |
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岳喜成;离子注入聚醚砜的射程分布和能量淀积[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2002年03期 |
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岳喜成;离子注入掺碘聚醚砜薄膜的红外光谱分析[J];徐州师范大学学报(自然科学版);2004年03期 |
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