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溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜的研究

王剑华  郭玉忠  刘荣佩  
【摘要】:硅溶胶制备SiO2 薄膜时用正交试验法系统地研究了各种因素对溶胶稳定性和SiO2 薄膜成膜性的影响. 研究表明:溶液浓度、加水量和催化剂是制备良好成膜性溶胶的关键因素,控制干燥化学添加剂(DCCA) 在加入量超过一定比例后对抑制膜层开裂有明显作用. 研究给出成膜性优良的硅溶胶组分比例为(TEOS:ROH:H2 O:DCCA:HCl=1 :70 :10 :1.6 :0 .05) .

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