多离子束反应共溅射技术及铁电薄膜制备与应用

【摘要】： <正> 随着现代信息科学与技术的迅速发展,多组元功能薄膜如高温超导薄膜、铁电薄膜、磁性薄膜等在微电子、光电子、光通讯、信息存储等方面已经取得了应用,商业价值十分巨大。铁电薄膜具有优良的铁电、压电、电光、热释电、光折变及非线性光学等特性,可广泛用于微电子学、光电子学及其他高新技术领域。考虑到制备多组元金属氧化物薄膜需精确控制各组元成分及离子束溅射成膜的特点,我们在国际上最先提出了发展多离

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中国期刊全文数据库

前20条

1	田玥;唐艳学;石旺舟;;0.74Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.26PbTiO_3薄膜的光学性能研究[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
2	郭淑兰;王敏;徐学东;李佳;;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜的ICP刻蚀及性能研究[J];微电子学;2011年04期
3	王光明;张铭;李廷先;郭宏瑞;严辉;;氧压对脉冲激光沉积LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响[J];功能材料;2011年S2期
4	郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
5	王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	陈辉;;非理想表面层对铁电薄膜极化率分布的影响[A];创新沈阳文集（B）[C];2009年
2	彭文斌;陈猛;朱建国;兰发华;肖定全;;多离子束反应共溅射制备PbTiO_3铁电薄膜的微结构研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
3	陈延峰;孙力;于涛;闵乃本;姜晓明;修立松;;MOCVD制备PbTiO_3铁电薄膜的研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
4	周济;李俊国;李龙土;张孝文;;溶胶—凝胶(Sol—Gel)过程制备Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5	李辉道;唐新桂;刘毅;唐振方;张曰理;莫党;;(Pb，Ca)TiO_3铁电薄膜的椭偏光谱研究[A];'99十一省（市）光学学术会议论文集[C];1999年
6	朱建国;肖定全;陈猛;彭文斌;张力;景亚斌;;PbTiO_3铁电薄膜快速退火后结晶特性研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
7	吴小清;李波;任巍;姚熹;;热释电薄膜红外探测器的微图形化及其性能[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8	杨长红;王卓;韩建儒;;金属有机分解法制备无铅环保K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
9	贾彩虹;张伟风;;Bi_(3.25)M_(0.75)Ti_3O_(12)(M=Nd,Al,In)薄膜的铁电与光学性质研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
10	朱建国;彭文斌;张文;陈猛;肖定全;兰发华;;多离子束反应溅射室温沉积PbTiO_3薄膜的结晶性能[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	卢兆信;铁电薄膜相变性质的高阶格林函数研究[D];电子科技大学;2011年
2	尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
3	尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
4	朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
5	裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
6	迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7	王卓;钛酸铋钠基铁电薄膜的制备及相关刻蚀工艺的研究[D];山东大学;2003年
8	贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
9	黄平;锶铋钛铁电陶瓷及薄膜的研究[D];天津大学;2005年
10	吴化平;具有择优取向的多晶铁电薄膜的力学性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	周光惺;BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究[D];华中科技大学;2009年
2	张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
3	杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
4	白刚;外延钙钛矿薄膜中铁电相变的唯象理论研究[D];汕头大学;2010年
5	王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
6	万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
7	田玥;弛豫铁电薄膜PMN-0.26PT的制备及其性能的研究[D];上海师范大学;2011年
8	郭冬云;FFET存储器用Bi_4Ti_3O_（12）铁电薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2002年
9	余中;感光性PZT铁电薄膜制备及光敏性机理研究[D];西安理工大学;2003年
10	刁雪岩;复合铁电薄膜性质的理论研究[D];吉林大学;2006年

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