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表面处理对气敏元件特性的影响

全宝富  卢革宇  孙良彦  董慧燕  高山  
【摘要】:利用表面修饰技术,通过不同气氛、溶液处理气敏元件表面,提高了元件的灵敏度,改善了选择特性.

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