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基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

施云波  张洪泉  董新平  郭建英  
【摘要】:阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的主要特性。试验和测试结果表明:传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点。

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