新型InSb-In薄膜磁阻式振动传感器的设计

【摘要】：介绍了一种用InSbIn共晶体薄膜磁敏元件制成的准全方位振动传感器。它由两对对称轴方向互相垂直的InSbIn磁敏元件构成,可将检测方位范围由一维扩展到现在的二维平面,并用单片机P87LPC760对传感器信号进行处理,应用中可提高检测信号的准确性。经实测,在机械振动的中低频率检测范围内,传感器的有效频带不窄于4～760Hz,其通频带内信噪比为30～32dB,经换算得灵敏度为16mV/gn。同时,得到传感器振动强度大小与磁敏电阻器输出信号关系曲线。

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3	文全胜,潘孝仁,陆元成;电场对二氧化锡纳米薄膜电性质和气敏性质的影响[J];传感技术学报;1995年03期
4	陈玉峰,李懋强;溶胶-凝胶方法制备薄膜型TiO_2氧敏传感器[J];中国建材科技;1995年03期
5	黄安荣;PYROSOL薄膜淀积技术[J];传感器技术;1998年04期
6	姚建年;过渡会属氧化物半导体薄膜的光电化学研究及其应用[J];世界科技研究与发展;1998年06期
7	高能武,陆吟泉,秦跃利,吴云海;AlN基片的薄膜金属化[J];电子元件与材料;1999年05期
8	赵彦立,钟国柱,范希武,李长华;氮化铝薄膜及其掺锰的光致发光[J];光电子.激光;1999年04期
9	杨春晖,张志梅,杨兆明,韩爱珍;GaAs多晶薄膜的电共沉积制备及其半导体性能研究[J];硅酸盐学报;1999年06期
10	曾亦可,刘梅冬,绕韫华;PLT15薄膜热释电红外传感器的研制[J];华中理工大学学报;1999年06期
11	冯金垣,杨日福,柳林;化学汽相沉积法制SnO_2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究[J];仪表技术与传感器;1999年04期
12	张立伟,马灵芝,唐祯安,蒋国平;一种用于测量SiO_2薄膜热导率的测试方法[J];测控技术;2001年08期
13	汤江南,曾大富,刘建华,朱之成,赵静;芯片尺寸封装工艺技术[J];微电子学;2002年04期
14	陈志武,乔成立,张喜燕,张颖;Sb-Se系和Ge-Sb-Te系相变光盘记录介质微观结构及光学性能研究[J];厦门大学学报(自然科学版);2002年01期
15	彭俊彪,朱召胜,高维先,曹镛,Okumoto H,Minami N,Yatabe T,Ichino Y;苯端基十二硅烷齐聚物薄膜的液晶自组装性[J];液晶与显示;2002年03期
16	夏志林,薛亦渝,张幼陵,刘卫华;光学薄膜的误差、允差分析及生产过程中的计算机控制[J];应用光学;2004年04期
17	;Coloprint工程薄膜有限公司和威格斯联手打造高性能工程薄膜[J];半导体行业;2008年04期
18	张天舒,曾宇平,沈瑜生,魏明瑾;镉、锡复合氧化物薄膜的气敏性能[J];传感器技术;1994年03期
19	汪洪海,郑启光,魏学勤,丘军林;气体放电增强准分子激光溅射反应沉积 AlN 膜[J];华中理工大学学报;1998年09期
20	史伟,房昌水,潘奇伟,孙洵,顾庆天,许东,秦自楷;主客掺杂聚合物材料薄膜介电性的研究[J];压电与声光;1999年06期

中国重要会议论文全文数据库

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1	严德荣;何天白;;嵌段共聚物PE-b-PEP薄膜结晶形貌的研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2009年
2	任翔;顾锋;邵玮;李春忠;;纳米氧化钛异质阵列电极薄膜的水热合成及性能[A];颗粒学最新进展研讨会——暨第十届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2011年
3	高水英;曹荣;袁大强;;负载Ag纳米粒子薄膜的研究[A];中国化学会第26届学术年会超分子组装与软物质材料分会场论文集[C];2008年
4	房喻;;荧光传感薄膜的性能优化——单层化学方法[A];中国化学会第十二届全国应用化学年会论文集[C];2011年
5	周敏;谢毅;;三维有序BiVO_4薄膜的可控合成及其增强的光电性质[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
6	李学;杨辉;张书香;赵淑英;褚国红;;利用嵌段共聚物/均聚物混合物的自组装构筑含有金属的嵌段共聚物纳米孔状薄膜[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2007年
7	王青如;宋峰;张超;赵红艳;刘加东;明成国;林赏心;潘裕斌;;金属纳米颗粒对掺杂铕配合物的薄膜发光的增强和淬灭[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
8	金艳梅;刘赵淼;;液体涂覆中褶皱形成的影响因素及防治措施[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
9	曹阿静;魏悦广;;二维分子动力学模拟纳米薄膜从基体上撕开[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年
10	高水英;袁大强;吕健;曹荣;;杯[4]芳烃衍生物构筑的层层自组装薄膜[A];全国第十四届大环化学暨第六届超分子化学学术讨论会论文专辑[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

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1	何少龙;Yb-C_（60）填隙化合物电子结构研究[D];浙江大学;2004年
2	顾强;受限态对分子运动性、化学反应以及扩散行为影响的研究[D];南京大学;2011年
3	薛庆忠;过渡金属－碳复合材料和复合纳米薄膜的磁电阻和电输运特性[D];清华大学;2004年
4	于桂琴;离子液体的合成及其摩擦学性能的研究[D];兰州大学;2007年
5	余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
6	魏向军;全反射相关的X射线荧光分析技术及其应用[D];兰州大学;2006年
7	高福斌;硅基聚合物微光机械振动传感器的研究[D];吉林大学;2006年
8	刘淑霞;薄膜及其它固相介质中金属纳米粒子的原位合成及性能研究[D];中国科学院研究生院（理化技术研究所）;2007年
9	厉以宇;多维结构薄膜光子器件的研究[D];浙江大学;2008年
10	汪炉林;柔性光掩模制备及有机材料表面微图案化研究[D];北京化工大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	陈喜明;TiO_2薄膜光诱导超亲水性的研究[D];浙江大学;2005年
2	任荣君;MgB_2超导薄膜的制备研究[D];江苏大学;2005年
3	陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
4	储开慧;纵向磁场中溅射机理研究[D];苏州大学;2005年
5	殷少飞;MnX_2、PbX_2体系有机—无机类钙钛矿材料的制备与结构[D];武汉理工大学;2006年
6	孔玮曼;应用于X射线FPD的非晶硒膜的制备方法研究[D];清华大学;2005年
7	曹渊武;生物蛋白胶在椎体后凸成形术中应用的离体研究[D];复旦大学;2008年
8	张云芳;PECVD法制备a-C：F：N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
9	蒲源;纳米La_（0.8）Sr_（0.2）FeO_3薄膜材料制备及其光电子特性研究[D];燕山大学;2006年
10	韩亚楠;钛酸铅系薄膜的制备与表征[D];河北师范大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者孙文生　通讯员张晓奇;新型“光生态薄膜”在杨凌研发成功[N];陕西日报;2010年
2	通讯员钟伟　陈淼;“凯利包装”试产会“呼吸”的薄膜[N];绍兴日报;2009年
3	古月;艾利·丹尼森公司推出多用途高光白色PP薄膜[N];中国包装报;2009年
4	本报记者那罡;为苏州昆岭薄膜增添绿色动力[N];中国计算机报;2010年
5	文报;佛塑股份开发复合智能节能薄膜[N];中国包装报;2010年
6	吕军锋;薄膜表面极性火焰处理技术的原理及其特点[N];中国包装报;2009年
7	张图;美国Pentapharm敏感药物包装薄膜生产线扩产[N];中国包装报;2009年
8	魏明;薄膜回收篇[N];中国包装报;2011年
9	记者徐雯雯;义和科技：三方联手打造“黄金薄膜”[N];莱芜日报;2011年
10	黄英;首条端对端薄膜硅电池生产线成功安装[N];中国企业报;2009年

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