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单片集成MEMS技术

江建明  娄利飞  汪家友  杨银堂  
【摘要】:介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点,同时,给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后,给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。

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1 莲玉;MEMS技术应用日趋广泛[N];中国电子报;2002年
2 四川 何映树;单片集成调频发射芯片MC2833[N];电子报;2002年
3 长沙 李其佳 戴世芳;流行单片集成视频放大器的原理与检修(上)[N];电子报;2001年
4 长沙 李其佳 戴世芳;流行单片集成视频放大器的原理与检修(下)[N];电子报;2001年
5 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
6 ;硅基光电子技术的今天与未来[N];电子资讯时报;2008年
7 刘妙;华迅第二代射频芯片问世[N];中国高新技术产业导报;2008年
8 西安交大电气工程学院 王兆安 杨旭;电力电子集成技术现状及研究进展[N];中国电子报;2003年
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