声表面波质量传感器

【摘要】：在128°Y切割X传播方向上的LiNbO3基片上设计并研制了新型声表面波(SAW)质量传感器。它将输入叉指换能器激发的SAW中心对称分成两路并由各自的输出叉指换能器检测输出。由于环境温度对SAW延迟线振荡器的振荡频率影响较大,传感器的输出不仅决定于质量沉积区所沉积的质量,还决定于测量时所处的环境温度。为此,在SAW质量传感器测量时,同时监测传感器的输入信息质量沉积区的质量和环境温度及其输出频率信息,采用多传感器信息融合技术进行融合处理,质量传感器的温度灵敏度分别从αs0.2=0.8007/℃,αs0.6=0.2488/℃提高到α's0.2=1.71×10-2/℃,α's0.6=3.28×10-3/℃。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	秦树基;声表面波传感器[J];传感器技术;1993年02期
2	应直铭;声表面波延迟线振荡器及其杂波抑制[J];电信快报;1994年08期
3	孔令兵,武明堂;声表面波湿度传感器[J];传感器技术;1993年04期
4	袁小平;国外声表面波传感器开发近况[J];压电与声光;1995年04期
5	章安良,朱大中;基于耦合模理论的Y型声表面波器件特性分析[J];电声技术;2004年12期
6	蔡起善;声表面波(SAW)传感器(二)[J];压电与声光;1985年04期
7	黄汉生,陈小兵,周绍明;声表面波电视频道振荡器[J];压电与声光;1992年06期
8	刘国锋,陈明;新型声表面波气体传感器[J];航空计测技术;1995年03期
9	周卫;宽频率带宽,低相位噪声声表面波压控振荡器[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);1998年03期
10	黄显淑;国际电工技术委员会(IEC)标准——声表面波(SAW)滤波器[J];压电与声光;1987年04期
11	陈培棣,蒋海涛,尤民,孙娟,夏兆锋;NDR系列声表面波谐振器批生产技术研究[J];电子工程师;1998年04期
12	吕霞付,张崇军,王武,蔡绍皙,邓明晰;一种声表面波液体密度传感器的实验研究[J];传感器技术;1999年05期
13	程国辉,涂建兵;一种声表面波直接频率合成器[J];压电与声光;2001年06期
14	王玉田 ,赵一鸣 ,沈国伟;基于声表面波的某无线远距识别系统的实现[J];电子技术应用;2003年12期
15	章肖融;干昌明;郑乐奇;;用光声声表面波谱仪研究表面缺陷[J];应用激光;1987年06期
16	Ivan.D.Avramov,袁小平;传感器用声表面波梳状频谱振荡器[J];压电与声光;1991年06期
17	陈小兵,黄汉生,吴江;高频声表面波压控(调频)振荡器的研制[J];压电与声光;1992年05期
18	李志云;声表面波－阶耦合模微分方程的推证[J];压电与声光;1996年03期
19	李培刚,张家琴,郝玉泉;CAE工程及其与单片集成和混合集成电路的关系[J];系统工程与电子技术;1997年04期
20	谢兵,古雪芹;高可靠大时带积声表面波卷积器[J];压电与声光;1997年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	谢馥励;张碧星;宫俊杰;;宽频带多模式声表面波聚焦理论与方法研究[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
2	周世圆;张运涛;徐春广;伍懿;;无源无线声表面波嵌入式测量理论与技术[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3	谢馥励;张碧星;宫俊杰;;声表面波相控阵聚焦方法研究[A];中国声学学会第九届青年学术会议论文集[C];2011年
4	宫俊杰;周献文;魏玉兰;;400MHZ带宽声表面波RAC器件[A];中国声学学会2003年青年学术会议[CYCA'03]论文集[C];2003年
5	黄文奇;杨虹;;CNGS压电晶体电子结构与声表面波特性研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第4分册）[C];2010年
6	潘峰;李冬梅;陈菁菁;李晖;;高频声表面波滤波材料及器件的研究[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
7	公勋;于小利;陈建军;吴浩东;毛一葳;章德;;热变形石英基板上的声表面波特性[A];泛在信息社会中的声学——中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2010年
8	章天金;顾豪爽;;外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析[A];湖北省物理学会、武汉物理学会成立70周年庆典暨2002年学术年会论文集[C];2002年
9	石一飞;沈中华;陆建;倪晓武;;利用光偏转差分式探测系统测量激光声表面波[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
10	何世堂;许钊庚;汪承灏;;声表面波低插损滤波器研究进展[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	白茂森;激光声表面波法测量薄膜杨氏模量的理论与系统研究[D];天津大学;2012年
2	杨莺;新结构声表面波质量传感器及声表面波集成声路隔离吸声技术的研究[D];浙江大学;2005年
3	周金;基于声表面波技术的无线通信系统的研究[D];南开大学;2010年
4	倪辰荫;扫描激光源法激发声表面波用于金属表面裂纹检测的研究[D];南京理工大学;2010年
5	赵佰军;声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究[D];吉林大学;2004年
6	雷声;基于声表面波及微纳技术的高性能湿敏传感器研究[D];浙江大学;2011年
7	吕晓洲;用于电子皮肤的新型压力传感器的研究[D];东华大学;2012年
8	朱华;基于频域采样的声表面波射频识别系统研究[D];上海交通大学;2009年
9	李庆亮;声表面波射频辨识标签与系统研究[D];上海交通大学;2008年
10	严刚;激光声表面波用于金属表面缺陷无损检测的研究[D];南京理工大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘红涛;声表面波气体探测中的激光技术应用研究[D];郑州大学;2010年
2	沈金祥;多层压电结构中声表面波的传播[D];宁波大学;2011年
3	金宝印;激光声表面波系统及其在薄膜杨氏模量测量中的应用研究[D];天津大学;2012年
4	张冠;声表面波微驱动器及其应用[D];上海交通大学;2011年
5	林卓彬;声表面波温度传感器特性研究[D];吉林大学;2010年
6	王磊;基于声表面波传感技术的智能刀具的建模仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7	徐贵鹏;声表面波的光纤检测方法研究[D];哈尔滨工程大学;2012年
8	沈国浩;433MHz SAW标签的优化设计、制作与分析[D];安徽大学;2010年
9	鲍帅;声表面波MEMS器件研究[D];西安工业大学;2012年
10	肖华;声表面波气体探测器控制电路设计[D];电子科技大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	河北王春明;声表面波（SWA）传感器简介[N];电子报;2004年
2	罗清岳;声表面波滤波器解决方案[N];电子资讯时报;2007年
3	中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会;电子陶瓷：产品门类齐全应用领域拓宽[N];中国电子报;2008年
4	中国电子科技集团公司第五十五研究所王玉林曹金荣陈培杕;SAW射频识别无源电子标签技术及应用[N];中国电子报;2004年
5	;村田制造所：“村田婉童”携手“村田顽童”展示新技术[N];中国电子报;2008年
6	韩连国罗俊昌;科技报国迎挑战[N];中国电子报;2000年
7	江苏周亮平;浅谈各种触摸屏技术[N];电子报;2006年
8	记者魏中良徐志蔚宫巨松徐荣生;双塔区招商引资项目建设突飞猛进[N];朝阳日报;2008年
9	倪燃;智能停车场发展渐入佳境[N];中国建设报;2010年
10	朱中群;无锡新区高新技术产业群体迅速崛起[N];中国高新技术产业导报;2001年

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