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扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析

谢兴军  单红  苏伟  
【摘要】:为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关—扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventorware和ADS(ad vanceddesignsystem)软件进行了仿真。由于利用了膜结构以及扭转臂和杠杆的原理,这种独特的MEMS微波开关激励电压比较低、隔离度较高、插入损耗比较低、稳定性好。

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