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微机械陀螺ASIC接口电路设计

刘晓为  莫冰  王超  谭晓昀  许晓巍  齐向昆  
【摘要】:在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10VP-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252mV/aF.芯片面积为5.5mm×4.4mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在10V电源电压下,其功耗为49.3mW,输出摆幅为4.85±3.1V,输出节点的零点偏离为0.15V.此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能,可实现与微陀螺敏感结构的双片集成.

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