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EPA静电电位的测量不确定度评定

葛欣宏  贺庚贤  宁飞  李俊霖  
【摘要】:防静电工作区(EPA)的静电电位是评价防静电工作区防静电能力的重要指标,在采用静电电压测试仪EFM-022测量EPA静电电位的前提下,提出了EPA静电电位测量不确定度评定的通用方法。对静电电位的测量原理进行了分析,建立了测量结果的导出数学模型,并确定了两类测量不确定度来源;进行了EPA静电电位的测量不确定度评定;最终,在EPA静电电位测量值的范围较宽的情况下,推导出了通用的不确定度计算公式,从理论上保证了EPA静电电位测量的准确性。

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