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一种精密光栅位移测量装置的设计

乔永凡  
【摘要】:本文介绍一种用于动态在线长度测量的光栅传感器。该仪器与国内外各同类产品比较,具有工作距离长(550mm)。示值误差小,精度高、结构紧凑、成本低等特点。此外,对环境和使用要求也不甚苛刻。

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