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双槽电沉积法制备Cu/Ag纳米多层膜制备及研究

顾超  朱宏喜  任凤章  王姗姗  肖丽丽  
【摘要】:双槽电沉积法制备了不同调制波长的Cu/Ag金属多层膜(Cu膜和Ag膜等厚),用扫描电子显微镜观察了多层膜的层状结构,并研究了不同调制波长下多层膜的显微硬度变化。结果表明:双槽电沉积法制备的Cu/Ag多层膜层状结构明显。当调制波长大于100 nm时,显微硬度随调制波长减小而增加;当小于100 nm时,硬度随调制波长减小而降低;调制波长为100 nm时,显微硬度取得最大值,为150HV。

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