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纳米二氧化钛薄膜制备研究进展

成晓玲  胡社军  匡同春  曾鹏  谢光荣  汝强  
【摘要】:根据近年来国内外TiO2功能薄膜的研究现状,对化学气相沉积法、水解-沉淀法、液相沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、离子束辅助沉积法等化学和物理制备方法的研究进展进行了综述,并对其优缺点进行了比较和评述。

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