收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

激光退火对多晶硅结构和电学性能的影响

王阳元  张国柄  徐瑶  李宝环  
【摘要】:利用调Q红宝石激光器(λ=6943A,τ=30mμs,能量1.8~2J/cm~2),对LPCVD和常压CVD生长的多晶硅薄膜(5000A)离子注入后进行退火。用透射电子显微镜观察晶粒结构;用X衍射仪测定其优选晶向;用Vanderpauw方法测定电阻率、迁移率和戴流子浓度;用阳极氧化逐步去层结合Vanderpauw霍耳测量测定截流子及迁移率分布。发现晶粒经激光退火后,由200~1000A~0增大至1μ量级;优选晶向增强(100)晶向;戴流子电激活几乎可达100%;迁移率符合王阳光等所提出的理论模型;戴流子在多晶硅膜内的分布变的更加平坦。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 宋长青;;激光退火技术对多晶硅太阳能电池薄膜处理的新进展[J];科技信息(学术研究);2008年29期
2 刘世祥,朱美芳,姚德成,石万全;激光退火的机理[J];物理;1983年09期
3 肖鸿飞,苗俊;半导体进行激光退火时预热温度的计算[J];沈阳工业大学学报;1998年01期
4 刘传珍,杨柏梁,李牧菊,吴渊,张玉,李轶华,邱法斌,黄锡珉;激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J];液晶与显示;2000年01期
5 许振嘉,陈维德;CW CO_2激光退火在硅中产生的氧沾污[J];物理学报;1984年01期
6 许少龙;激光退火产生磁泡[J];激光杂志;1980年02期
7 方芳,S.S.Lau;Si/Pd/GaAs欧姆接触的激光退火[J];中国激光;1990年S1期
8 姜润清,张燕,孙喻明;激光退火对碲镉汞电性能的影响[J];山东大学学报(自然科学版);2000年02期
9 张思玉;郑克全;;激光技术制作硅太阳能电池的现状和展望[J];激光与红外;1985年06期
10 石万全;刘世祥;柳雪君;刘衍芳;杨玉芬;祁乃侠;张晓卫;;离子注入激光退火的硅毫米波段IMPATT器件初探[J];中国科学院研究生院学报;1985年01期
11 王青圃,杨旭东,赵圣之,王公堂,程兴奎,岳书彬;掺钇非晶硅薄膜的激光退火[J];激光杂志;1989年01期
12 梁培辉,陈奕升,曹思华;激光退火的一点注记[J];中国激光;1983年07期
13 孙金坛,程国义,王和庆;射频离子辐射损伤的激光退火[J];激光杂志;1985年06期
14 刘尚合,卢武星,姬成周,张通和;砷注入硅的激光退火和热退火特性[J];物理;1980年06期
15 杜金波;;激光处理半导体[J];激光与红外;1980年02期
16 罗文秀;戴国才;王小林;高勘;;a-Si∶H薄膜的毫微秒脉冲激光退火[J];山东大学学报(理学版);1986年04期
17 王顺,李琼,林成鲁;中子辐照单晶硅与激光退火制备SOI结构的研究[J];中国激光;1988年11期
18 朱振和;激光脉冲照射硅时若干物理量的计算[J];半导体学报;1990年09期
19 吴春亚,张建军,李洪波,王庆章,王宗畔,赵颖,耿新华,孙钟林;a-SiGe_x∶H薄膜准分子激光晶化的研究[J];光电子技术;1998年03期
20 卢励吾;许振嘉;;CWCO_2激光退火的注砷硅缺陷及热稳定研究[J];中国科学院研究生院学报;1986年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐二明;梁二军;;非晶硅薄膜激光退火的研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
2 田雪雁;徐征;;铁电薄膜退火方法的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
3 卢晓蓉;徐国跃;赵毅;汤浩;樊瑞新;杨德仁;;载流子浓度和迁移率对材料红外发射率的影响[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
4 章忠渭;张启瑜;;高迁移率族蛋白-1在重症急性胰腺炎病程中的研究进展[A];2007年浙江省外科学学术会议论文汇编[C];2007年
5 帅志刚;龙孟秋;唐令;王冬;;纳米带状石墨烯与石墨炔的电子结构与电荷输运[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
6 王佐;吕运成;傅仕福;胡必利;易光辉;姚峰;童中艺;王贵学;;基质细胞衍生因子1α对THP-1迁移的影响及苦瓜蛋白的干预作用[A];第八次全国动脉硬化性疾病学术会议论文集[C];2005年
7 周健光;蔡绥;郑敏;;高迁移率族蛋白-1在狼疮性肾炎中的表达[A];中华医学会第十二次全国皮肤性病学术会议论文集[C];2006年
8 陶春兰;董茂军;张旭辉;张福甲;;并五苯场效应晶体管的研制[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
9 于贵;狄重安;高希珂;王鹰;郭云龙;刘云圻;朱道本;;有机场效应材料及其器件[A];中国化学会第26届学术年会有机固体材料分会场论文集[C];2008年
10 杨笑迪;王林军;李启楷;帅志刚;;有机材料迁移率的理论计算预测[A];中国化学会第26届学术年会有机固体材料分会场论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘传珍;低温多晶硅材料及其器件的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 李牧菊;高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
3 黄金英;高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
4 代月花;纳米MOSFET电学参数的分析与建模[D];安徽大学;2007年
5 Irfan Ahmad;四种高迁移率有机发光和场效应晶体管材料的分子设计和理论研究[D];东北师范大学;2010年
6 何红宇;基于指数陷阱态密度的薄膜晶体管的解析模型[D];华南理工大学;2011年
7 揣荣岩;多晶硅纳米薄膜压阻机理与特性的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 臧法欣;稀土配合物电致发光器件的瞬态特性和红外发光研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
9 孙建亮;有机/无机簇合物发光材料和新型空穴传输材料的设计、合成及其器件的研制[D];山东大学;2006年
10 黄锐;Cahn-Hilliard型方程的若干问题[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋长青;非晶硅薄膜的YAG激光退火技术研究[D];南京理工大学;2010年
2 黄俊;PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究[D];厦门大学;2009年
3 廖勇明;基于多晶硅的红外阵列研制及集成设计[D];四川大学;2005年
4 勾宪芳;多晶硅太阳电池中氧碳行为和氮化硅的钝化及减反射的研究[D];河北工业大学;2006年
5 程小强;多晶硅源漏SiC N-MOSFET关键技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
6 张伟娜;冶金多晶硅的电学性能研究[D];大连理工大学;2008年
7 毛文行;多晶硅锭中硬质夹杂性质与形成机理研究[D];南昌大学;2007年
8 郭贝;太阳电池上氮化硅减反射膜性能的研究[D];河北工业大学;2008年
9 王楠;由SiCl_4制备多晶硅的大气压等离子体化学气相沉积及发射光谱诊断[D];大连理工大学;2009年
10 张康乐;一种多晶硅还原炉自动调功器硬件系统设计与实现[D];电子科技大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 叶勇;无惧过剩隐忧 国电集团50亿上马多晶硅项目[N];上海证券报;2008年
2 本报记者 吴生锋;多晶硅出炉目击记[N];扬州日报;2008年
3 钟轩;中冶包钢投资80亿生产多晶硅[N];中国企业报;2008年
4 望江;江苏阳光首期1500吨多晶硅项目投产[N];证券时报;2008年
5 王京 杨华 薛歌;践行“硅业报国”理念 打造多晶硅产业新巨人[N];中国经济导报;2008年
6 周五新 葛西劝;年产1000吨多晶硅美资项目落户蠡县[N];河北日报;2008年
7 本报记者 王传晓;价格回归阻击“青春期野蛮生长” 多晶硅花还未开即临枯萎?[N];21世纪经济报道;2008年
8 本报记者 李俊辉;多晶硅三重门千亿投资或将蒸发[N];中国经营报;2008年
9 本报记者;宁夏阳光硅业年产1500吨多晶硅项目投产[N];江阴日报;2008年
10 通讯员 陈国成;国内最大的多晶硅单条生产线在猇亭建成[N];三峡日报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978