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LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究

赵善麒  徐宝琨  赵慕愚  彭作岩  才宏  邢建力  
【摘要】:本文采用溶胶-凝胶技术制备LaPeO3纳米晶薄膜,并摸索出该薄膜的光刻方法,将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合,首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性.

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