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一种可适应复杂互连电容结构的边界元形体处理方法

喻文健  王泽毅  王玉刚  陆涛涛  陈瑞明  
【摘要】:针对当前集成电路中日益复杂的互连结构 ,提出了一种边界元电容提取中的形体处理方法 ,可适用于填充气隙、保形介质、多平面介质 ,以及任意复杂的寄生电容结构 .在该处理方法中采用多叉树组织三维形体对象 ,并有效地生成区域边界表面的信息 .数值实验表明 ,该方法拓宽了边界元电容提取处理复杂结构的能力 ,且具有较高效率 .

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