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具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性(英文)

吴文刚  郝一龙  栗大超  张培玉  武国英  
【摘要】:应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术 ,制作了新型 2× 2扭转微镜光开关阵列 ,并研究了其在外加静电场和交变电场中的机电特性 .当该光开关中悬挂多晶硅微镜的弹性扭转梁的厚度约为 1μm时 ,驱动微镜以实现其“开”状态的拐点静电电压为 2 70~ 2 90V ,而维持微镜“开”状态的最低保持电压在 5 5V左右 .理论分析表明 ,在关于该光开关结构的一系列设计参数中 ,拐点静电电压对于弹性扭转梁的厚度最敏感 .该光开关的开关寿命超过 10 8次 ,而其开关时间预计小于 2ms .对单片集成制造在该光开关阵列芯片上的两种新型光纤自定位保持结构的力学分析表明 ,它们具有光纤自固定、自对准

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1 吴文刚,郝一龙,栗大超,张培玉,武国英;具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性(英文)[J];半导体学报;2002年10期
2 吴文刚,栗大超,袁勇,孙卫,阎桂珍,郝一龙,靳世久;扭转微镜光学致动器研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
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