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电子束蒸镀Y_2O_3-ZrO_2减反射膜用于1.3μm半导体激光器

王浙辉  林理彬  卢铁城  
【摘要】:用DMP450 型电子束镀膜机,制备了Y2O3ZrO2 膜,并将它用作1.3μm 半导体激光器的减反射膜.测试结果表明,镀膜后的半导体激光器其外微分子量效率明显提高,线性化也有改善.对于减反程度很高的管子,出现了超辐射现象.本文对这些现象及有关机理进行了讨论.

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