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Si-SiO_2-Al_2O_3结构的电子束辐照效应

林理彬  田景文  谢建华  陈伯英  唐方元  熊文树  林茂清  
【摘要】:正 本文介绍了Si-SiO_2-Al_2O_3系统的电子束辐照及实验结果,定性地讨论了辐照能量、剂量及剂量率的影响.根据辐射效应,我们认为Al_2O_3-SiO_2及Al_2O_3-Si结构中Al_2O_3膜内靠近界面处存在有受主型界面态,表现出负电荷性质,辐射的电离效应进一步增强了界面的负电荷效应.同时实验结果还表明电子轰击引起了硅中杂质在界面附近的再分布.

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1 胡伟佳;基于电荷泵技术的Si-SiO_2界面电荷分布特性研究[D];广东工业大学;2012年
2 任雯;碳钛颗粒膜的表面电子发射特性研究[D];西安工业大学;2012年
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