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MEMS陀螺仪的研究现状与进展(续)

李永  赵正平  
【摘要】:正3 MEMS陀螺仪的工艺基于MEMS陀螺仪和其他陀螺解决方案(例如光纤陀螺、环形激光陀螺、半球谐振陀螺和石英陀螺仪)相比具有了许多关键的优势:低成本、非常小的形成因子、轻量级、在严酷环境下的可靠性和低功耗。MEMS陀螺仪工艺是基于经历几十年的发展已经成熟的半导体批量生产设备。近两年为适应高性能MEMS陀螺仪发展的需要,MEMS陀螺仪工艺在体Si、表面工艺、3D结构工艺、封装和修调等方面具有创新:频差低至0.25 Hz的Φ200 mm

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