收藏本站
收藏 | 投稿 | 论文排版

硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化

方华军  刘建设  任天令  刘理天  
【摘要】:采用压电多层悬臂梁理论分析模型 ,研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能 ,探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素。提出了一种新的硅基PZT压电复合膜悬臂梁驱动光开关的制作方法。给出了 2 5V工作电压下优化的器件结构 ,并对理论分析结果与压电复合多层膜悬臂梁的有限元耦合场分析结果进行了比较

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;[J];;年期
2 耿康;;基于DMD的红外仿真光学系统设计[J];光学仪器;2010年04期
3 尤全;崔晟;刘德明;万助军;刘小英;莫槟诚;;多信道动态色散补偿器的研究进展[J];光通信研究;2011年04期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
3 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
4 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
5 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
6 刘高旻;谢庆海;刘艺;王海晏;贺红亮;;PZT 95/5陶瓷FE→AFE相变区冲击放电规律研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
7 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
8 申中华;李勇;;MOEMS光开关中一种新的微镜驱动方式[A];2007通信理论与技术新发展——第十二届全国青年通信学术会议论文集(下册)[C];2007年
9 孟庆华;朱孔军;裘进浩;董娜娜;季宏丽;;Pb过量及退火工艺对溶胶凝胶法制备PZT粉体的影响[A];中国颗粒学会超微颗粒专委会2011年年会暨第七届海峡两岸超微颗粒学术研讨会论文集[C];2011年
10 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
2 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
4 李建华;前驱体法制备PZT/ZrO_2纳米复相陶瓷性能研究[D];天津大学;2009年
5 冯铁程;B位先驱体法制备PZT/ZrO_2复合压电陶瓷及其性能研究[D];天津大学;2010年
6 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
7 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
8 晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
9 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
10 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
3 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
4 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
5 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
6 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
7 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
8 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
9 高晴;载流子注入型MMI光开关设计[D];浙江大学;2006年
10 张发国;一种反射式微型光开关的相关技术研究[D];重庆大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 玉树;用望远镜和显微镜工作[N];中国国门时报;2004年
9 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
10 张宗;教育为什么没有问责制[N];中国妇女报;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978