收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

裴强  夏善红  龚超  白强  陈绍凤  
【摘要】:报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 周婷婷;谢卉;孙莉萍;胡强高;;一种基于MEMS技术的可调谐光滤波器[J];光通信研究;2011年04期
2 杨建生;;埋置型叠层微系统封装技术[J];电子工业专用设备;2011年05期
3 贾小慧;高杨;郑英彬;柏鹭;;交直流隔离的分布式MEMS移相器设计[J];信息与电子工程;2011年03期
4 尤全;崔晟;刘德明;万助军;刘小英;莫槟诚;;多信道动态色散补偿器的研究进展[J];光通信研究;2011年04期
5 陈亚东;;浅议微型新闻观察主题提炼[J];今传媒;2011年08期
6 涂晟;王军波;商艳龙;陈德勇;;高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作[J];传感技术学报;2011年08期
7 ;为笔记本选个好音箱 微型音箱关注排行[J];电脑迷;2011年07期
8 ;畅所欲“投” Vivitek丽讯Qumi Q2微型投影机[J];数字生活;2011年06期
9 星火;;随时随地感受大屏幕的快乐 酷乐视(COOLUX)X1微型投影机[J];家庭影院技术;2011年06期
10 ;三星H03 LED微型投影[J];办公自动化;2011年15期
11 菱形;;云时代的私人空间 微型网络服务器讯盒BTplug[J];微电脑世界;2011年07期
12 Vinssen.Lee;;高亮、高清、3D与LED一应俱全,全能型掌上投影精灵 Vivitek(丽讯)Qumi Q2[J];家庭影院技术;2011年09期
13 ;丽讯Qumi Q2微投[J];办公自动化;2011年11期
14 ;微投精灵Qumi独秀InfoComm[J];办公自动化;2011年13期
15 觅海;;美军大量采购微型激光测距仪[J];轻兵器;2011年16期
16 Alexlux;;一步到位的影音魅力 丰富多彩的飞利浦微型音响新组合[J];家庭影院技术;2011年09期
17 本刊记者;;专业视听集成正当时 Vivitek(丽讯)北京投影新品发布会报道[J];家庭影院技术;2011年06期
18 ;GE推出微型加固自动视频跟踪器[J];自动化应用;2011年06期
19 王春雁;;引领微投新风尚Vivitek丽讯Qumi Q2登场[J];中国教育信息化;2011年11期
20 张晓丹;柯熙政;张志禹;张琦;;微电子机械系统数字地震检波器模拟方法的研究[J];机械科学与技术;2011年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘志田;刘西川;陈小春;;三种空中电场传感器[A];第八届长三角气象科技发展论坛论文集[C];2011年
2 郑凤杰;白强;张星;汪祖民;夏善红;;空中三维电场传感器及其标定方法研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
3 宋玉苏;张燕;张坤;左攀;;海洋低频电场传感器敏感电极材料的选择[A];2010年全国腐蚀电化学及测试方法学术会议摘要集[C];2010年
4 龚超;陶虎;白强;陈绍凤;夏善红;;交错振动式微型电场传感器[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 叶超;龚超;陈贤祥;彭春荣;陈绍凤;夏善红;;一种热驱动微型电场传感器设计与仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
6 ;微型中心出版物[A];微型化学实验专辑论文集[C];2004年
7 王志英;关玲;;微型动态压力传感器研究[A];2001全国压力计量测试技术年会论文集[C];2001年
8 于同敏;宫德海;;微型模具制造技术研究与发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
9 ;中国针法微型外科 治病救人效果佳[A];2009传统医药国际科技大会暨全国中医外治论坛会刊[C];2009年
10 王瑾;熊联友;侯予;吴刚;陈纯正;;逆布雷顿循环微型低温制冷机[A];第四届全国低温工程学术会议论文集[C];1999年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孙豹;集成光学电磁场传感器研究[D];电子科技大学;2010年
2 杨拥军;新型集成光波导全向电场传感系统研究[D];电子科技大学;2007年
3 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
5 赵本刚;基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
6 朱民;微型电化学传感器的研究及其在细胞分析中的应用[D];华东师范大学;2003年
7 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
8 邓春晖;生物化学信号物质的研究[D];复旦大学;2004年
9 韩建强;基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
10 韩光平;微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究[D];西安理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 裴强;基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
2 潘翼飞;采用小波多孔算法的集成光学电场传感器信号处理[D];电子科技大学;2010年
3 胡平;球型电场传感器测量系统的研究及应用[D];重庆大学;2011年
4 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
5 侯占民;微型三轴振动传感器的设计[D];哈尔滨工程大学;2003年
6 颜建军;基于嵌入式Linux的微型UAV测控系统研究[D];浙江大学;2004年
7 王晓扬;干涉型光纤微弱电场传感器研究[D];上海交通大学;2008年
8 唐守渊;微型全化学分析芯片分析毒性重金属离子[D];重庆大学;2002年
9 孙豹;宽带集成光波导射频全向电场传感器的研究[D];电子科技大学;2006年
10 崔国平;基于标准CMOS工艺的微电场传感器信号读取电路研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
2 本报记者 婕宁;“全球微型创业奖”在中国启动[N];证券日报;2005年
3 陈伟华;蔬菜新宠——微型蔬菜[N];中国国门时报(中国出入境检验疫报);2001年
4 全运;微型汽油切割机 [N];中国有色金属报;2002年
5 汪 亚;一身灵感微型鞋[N];中国商报;2004年
6 内蒙古 王昉;PC还可以更小的[N];电脑报;2004年
7 梅竹洪;微型瓦楞参数及规格的划分[N];中国包装报;2002年
8 肖振山;“微型奇兵”出奇制胜[N];中国国防报;2004年
9 ;DC市场超便携微型相机逐个数[N];中国电脑教育报;2002年
10 邬家钦;趣谈微型奇观[N];中国商报;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978