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二次离子质谱中氧的作用

草尾健司  吉岡芳明  小西文弥  邱素娟  
【摘要】: <正> 一、前言自从出现二次离子质量分析仪以来,已经有十几年的时间了。在初期研究阶段中,主要用Ar~+作为一次离子,样品室的真空度比较差,二次离子行为是不稳定的,也没有得到足够高的检测灵敏度,因此分析的适用范围受到限制,没有得到充分的实际应用。Andersen使用了O_2~+、O~-作为一次离子,这在SIMS历史上具有划时代的作用。可以认为从这个时候开始,SIMS进入了实用阶段,这是由于采用了氧离子使二次离子强度增大而且稳定了的缘故。即使是以Ar~+作为一次离子时,只要样品环境气氛有氧气,二次离子强度也将增加。作者使用自制的SIMS,在分析中一直应用这些现象,大约有5000个各种材料的样品使用体会,深

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