收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

定向凝固法生长多晶硅中位错密度降低的研究进展

韩博  李进  安百俊  石星宇  徐尊豪  
【摘要】:位错可以通过缩短少数载流子寿命而严重限制多晶硅太阳电池的转换效率,随着对高转换效率的追求,研究多晶硅位错的重要性也随之增加。在介绍现有半导体晶体CRSS和HAS位错模型的基础上,归纳了定向凝固法生长多晶硅中应力、晶界、杂质、过冷度对位错形成的影响机制与缺陷腐蚀和原位检测等多种位错表征方法。重点阐述了控制固液界面形貌、籽晶、掺杂、硅锭制备工艺、硅片退火等技术对减少与抑制多晶硅位错的影响。最后,针对位错模型、位错表征以及多晶硅生长过程中位错的抑制和生长后位错密度降低技术进行了展望。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前19条
1 张聪;魏奎先;马文会;高隆重;杨玺;戴永年;;铁杂质对真空定向凝固多晶硅电阻率的影响研究[J];真空科学与技术学报;2016年07期
2 高志明;;铁杂质对真空定向凝固多晶硅电阻率的影响[J];化工设计通讯;2018年09期
3 刘玉聪;;定向凝固HgCdTe合金的生长参数对组分变化的影响[J];红外与激光技术;1986年01期
4 罗玉峰;宋华伟;张发云;彭华厦;胡云;饶森林;;稳恒磁场对多晶硅定向凝固结晶阶段流速场的影响[J];金属热处理;2015年01期
5 尚保卫;张超;马鸣珂;;多晶铸锭裂锭原因分析及改进措施[J];化工管理;2016年08期
6 高明霞;朱远国;张杰;;基于定向凝固工艺的高效多晶硅锭制备技术[J];科技创新与应用;2015年32期
7 刘秋娣,林安中,林喜斌;多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究[J];稀有金属;2002年06期
8 戴永年;马文会;杨斌;刘大春;徐宝强;韩龙;;粗硅精炼制多晶硅[J];世界有色金属;2009年12期
9 吴波;王伟杨;许磊;金浩;陈伟;肖贵云;;高效超薄多晶硅片生产中的若干关键技术[J];上饶师范学院学报;2016年03期
10 李彦磊;陈健;戴松元;;冶金法提纯太阳能级硅的原理、工艺和新进展[J];材料导报;2013年11期
11 唐绍雨;马文会;梅向阳;李志红;伍继君;;真空冶金法提纯锑掺杂单晶硅埚底料的实验研究(英文)[J];中山大学学报(自然科学版);2009年S2期
12 徐昌型;低氧低位错密度均匀分布硅单晶的制备[J];稀有金属;1979年01期
13 张慧星;谭毅;孙世海;许富民;姜大川;;定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响[J];机械工程材料;2011年03期
14 王素儒;资料索引[J];红外;1996年08期
15 韩行侠;多角结的成因与硅的位错密度[J];半导体技术;1982年04期
16 曾云,颜永红,陈迪平;一种测量少数载流子寿命的新方法[J];微细加工技术;1995年04期
17 施毅,吴凤美,沈德勋,程开甲,王长河;中子辐照损伤区对硅少数载流子寿命的影响[J];半导体学报;1989年09期
18 虞孝栋,吴道怀,唐福娣,谭浩然;用电发光法测量碳化硅少数载流子寿命的若干问题[J];物理学报;1966年09期
19 杨玺;刘晶靓;张明宇;吕国强;马文会;;多晶硅真空定向凝固系统的结构特性优化研究[J];工业加热;2017年03期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 高雪松;黄因慧;田宗军;刘志东;沈理达;王桂峰;;激光烧结镍基高温合金的深过冷定向凝固研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 薛海洋;;过共晶铝硅熔体在电磁定向凝固下初晶硅分离效率的实验研究[A];2014中国功能材料科技与产业高层论坛摘要集[C];2014年
3 卢鸿修;;测量位错密度时位错成象的分析[A];第四次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1986年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 李天佑;高效多晶硅铸锭工艺优化研究[D];太原理工大学;2018年
2 黄淑萍;真空定向凝固提纯硅中杂质铝钙分布模型研究[D];昆明理工大学;2013年
3 刘志辉;多场作用下多晶硅定向生长的研究[D];南昌大学;2017年
4 冀明;真空感应熔炼和定向凝固提纯冶金级硅研究[D];大连理工大学;2011年
5 王琳;多晶硅提纯设备DPS650的壳体设计分析[D];大连理工大学;2013年
6 刘杰;多晶硅定向凝固的热场模拟与静态磁场影响的研究[D];南昌大学;2016年
7 李超超;热场材料在真空定向提纯设备DPS-650中的应用研究[D];大连理工大学;2013年
8 张晨;一种高效率升压型充电芯片的设计研究[D];电子科技大学;2019年
9 王庆正;基于逆阶梯脉冲的OPO转换效率研究[D];哈尔滨工业大学;2019年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978