收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器

李明昊  杨拥军  任臣  付迪  
【摘要】:为了实现微电子机械系统(MEMS)惯性器件的高精度数字化输出,设计了一款单环5阶Σ-Δ调制器。利用Matlab在系统级完成了Σ-Δ调制器的结构设计,确定调制器为带有零点优化的级联积分器前馈(CIFF)结构,并在Simulink中完成了调制器非理想模型的建立。在电路设计时,调制器整体采用全差分的开关电容电路来实现。为了降低整体调制器的噪声,在第1级积分器中加入了斩波稳定模块,并采用了具有低回踢噪声的动态比较器作为一位量化器。本设计在0.18μm BCD工艺下实现,工作电压为5 V、采样频率为500 kHz、过采样率为128时,调制器的功耗约为4.25 mW,有效位数为19.06 bit。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前15条
1 林雪松;王立朋;王淑荣;;空间光学调制器中轴承的润滑及密封研究[J];润滑与密封;2007年04期
2 周琼;傅剑宇;刘超;侯影;陈大鹏;;一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计[J];微纳电子技术;2021年01期
3 ;北京遥测技术研究所MEMS工程中心[J];遥测遥控;2021年02期
4 魏素盼;时生乐;;MEMS技术在电子通信产业中的应用分析[J];大众标准化;2019年17期
5 李荣冰;王智奇;廖自威;;激光雷达/MEMS微惯性组合室内导航算法研究[J];传感器与微系统;2020年12期
6 张小小;傅四海;欧蔼新;;化学机械抛光在MEMS中的应用[J];南方农机;2016年10期
7 于靖军,宗光华,毕树生;全柔性机构与MEMS[J];光学精密工程;2001年01期
8 高旗;陈青松;杨贵玉;杨挺;路文一;尹玉刚;;MEMS倾角传感器研究现状及发展趋势[J];微纳电子技术;2021年12期
9 张尧;王媛媛;;电子通信产业中MEMS技术的应用价值[J];物联网技术;2014年09期
10 王玉净;侯战斌;杜君;闻志国;李岩;;一种基于MEMS的无线倾角自组网检测装置设计[J];单片机与嵌入式系统应用;2021年02期
11 赵祥雄;赖天伟;赵红利;侯予;陈双涛;;基于气体润滑技术的MEMS透平研究进展[J];机械设计与研究;2012年01期
12 马昆;戴居峰;聂晓慧;胡隽;;一种适用于MEMS惯组的低维传递对准方法[J];导航与控制;2021年01期
13 周雪丽;李世中;;一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真[J];功能材料与器件学报;2014年05期
14 郑利兵;石庚辰;;基于功能结构的MEMS弹簧设计方法[J];纳米技术与精密工程;2006年02期
15 牛伟萌;房立清;齐子元;郭德卿;;基于MEMS加速度传感器的位移测量系统[J];仪表技术与传感器;2020年03期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 张文明;孟光;;随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响[A];第十届全国振动理论及应用学术会议论文集(2011)下册[C];2011年
2 李团结;朱敏波;文群燕;;基于遗传算法的平面双稳态柔性MEMS的优化设计[A];面向制造业的自动化与信息化技术创新设计的基础技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
3 崔建利;张斌珍;段俊萍;赵龙;;基于MEMS工艺柔性压力传感器制备与测试[A];第二届海峡两岸功能材料科技与产业峰会(2015)摘要集[C];2015年
4 庄海涵;李新坤;刘国文;王学峰;徐宇新;;MEMS惯性仪表发展趋势[A];第四届航天电子战略研究论坛论文集(新型惯性器件专刊)[C];2018年
5 冯晶晶;郝淑英;张昆鹏;刘海英;;一类三阱势能MEMS系统的同异宿分岔及混沌分析[A];第十届动力学与控制学术会议摘要集[C];2016年
6 孟光;张文明;;微机电系统(MEMS)动力学研究进展[A];第十一届全国非线性振动学术会议暨第八届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议论文集[C];2007年
7 杜亦佳;;压电MEMS微执行器技术研究进展[A];2017年版中国工程物理研究院科技年报[C];2018年
8 梁斌斌;王炳雷;周慎杰;;拟弧长延拓法在静电激励MEMS吸合特性研究中的应用[A];第十五届北方七省市区力学学术会议论文集[C];2014年
中国博士学位论文全文数据库 前16条
1 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
2 刘双杰;引信用MEMS惯性开关技术研究[D];长春理工大学;2013年
3 陈辉;MEMS扭转微镜的滑模控制研究[D];华南理工大学;2014年
4 陈蓓;高性能MEMS风速风向传感器环境效应研究[D];东南大学;2016年
5 赵岳生;基于先验知识、实时态势感知、交互学习的MEMS仿生个体[D];清华大学;2013年
6 孙凤鸣;基于MEMS的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究[D];天津大学;2013年
7 吴健;硅基MEMS器件的液体润滑及纳米磁性液体磁控润滑研究[D];中国矿业大学;2015年
8 秦风;压电MEMS致动机理及其应用研究[D];电子科技大学;2020年
9 胡伟;面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究[D];华南理工大学;2012年
10 杨磊;基于钎料球重熔的MEMS微部件自组装及熔滴激光驱动行为[D];哈尔滨工业大学;2014年
11 王伟;面向微型傅里叶变换光谱仪的电热式MEMS微镜关键技术研究[D];上海交通大学;2017年
12 朱应敏;MEMS开关关键技术研究[D];西安电子科技大学;2013年
13 张建宏;复杂力学环境中MEMS安全系统失效机理与分析方法研究[D];北京理工大学;2014年
14 曹宇;激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究[D];华中科技大学;2009年
15 刘莹;MEMS多域耦合非线性宏建模的轨迹分段线性化方法研究[D];西北工业大学;2015年
16 赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前20条
1 周寿权;三轴全差分电容式MEMS微加速度计的设计与制造工艺研究[D];电子科技大学;2021年
2 万俊铄;高精度MEMS微惯性姿态系统的设计与实现[D];南华大学;2019年
3 赵文君;基于微电铸工艺的低应力MEMS安保机构制作[D];大连理工大学;2019年
4 李威;面向MEMS封装的纳米玻璃粉制备及其回流工艺研究[D];厦门大学;2017年
5 李柯利;基于电化学微细加工的MEMS能量采集器研究[D];上海师范大学;2018年
6 梅崴;激光点火系统用MEMS光开关研究与设计[D];中国航天科技集团公司第一研究院;2016年
7 何文苗;新型MEMS光学开关的设计与分析[D];沈阳理工大学;2014年
8 赵立敏;MEMS微驱动器的设计、工艺及应用[D];西安电子科技大学;2014年
9 廖文平;基于MEMS传感器的姿态解算的FPGA实现[D];长沙理工大学;2015年
10 姚莉楠;基于MEMS的滑动轴承动压油膜3D检测方法的研究[D];河北工业大学;2014年
11 张晓静;基于异质集成制造的静电锁定MEMS惯性开关研究[D];上海交通大学;2020年
12 于思齐;MEMS静电驱动阵列微阀的研究[D];北京理工大学;2017年
13 闫冬;数字陀螺Sigma-Delta调制器的设计[D];哈尔滨工业大学;2016年
14 李丰;压电式MEMS传感器的稳健设计研究[D];北方工业大学;2017年
15 王少阳;基于亚像素定位匹配算法的MEMS面内运动测量[D];天津大学;2014年
16 杨晓臣;新型阈值可调MEMS惯性开关的研究[D];大连理工大学;2020年
17 庄猛;MEMS传感器三维引线键合系统研制[D];苏州大学;2016年
18 董世杰;铌掺杂锆钛酸铅薄膜驱动的压电MEMS悬臂梁研究[D];北方工业大学;2015年
19 牛葳;MEMS陀螺中16位数模转换器设计[D];哈尔滨工业大学;2020年
20 封宝柱;超声键合振动与层间热应力对MEMS器件影响的研究[D];西南科技大学;2018年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978