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硅基PZT铁电薄膜的制备与性能研究

张林涛  任天令  张武全  刘理天  李志坚  
【摘要】:用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备了硅基Pb(Zr_0.53Ti_0.47)0_3(PZT铁电薄膜。分析了PZT铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有PT过渡层的PZT铁电薄膜的工艺流程。测试了低温制备的PZT铁电薄膜的C-V、漏电等电性能,发现在Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的工艺中加入PT过渡层,有助于提高PZT薄膜的品质。

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