a-Si:N FET的研制

【摘要】：用辉光放电连续淀积a-Si_xN_(1-x):H和a-Si:H的方法制备了a-Si:H FET通过改进a-Si:H与源、漏Al电极的欧姆接触,在氮气氛中退火等工艺,获得了直流特性良好的a-Si:HFET.当栅极电压V_G变化10V时,漏、源电流的变化达六个数量级.

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5	;[J];;年期
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8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

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1	谢飞;秦跃利;高能武;;MCM-D工艺探讨[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
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3	陈玉兰;曾正中;张众;马莲英;王海洋;尹佳辉;;一种基于薄膜开关和Blumlein平板双传输线的快前沿电子束源[A];四川省电子学会高能电子学专业委员会第四届学术交流会论文集[C];2005年
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6	章晓文;恩云飞;;SOI器件的特性与失效机理[A];第十一届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2005年
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1	董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
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5	张华;蓖麻油脉冲绝缘性能及其在Tesla型脉冲发生器中的应用研究[D];国防科学技术大学;2010年

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1	;未来几年的关键技术[N];中国计算机报;2001年
2	国务院发展研究中心国际技术经济所研究员吴康迪;半导体巨头推动工艺研发进程 32纳米芯片接近实用[N];中国电子报;2008年
3	武汉王绍华;浅谈电容器的参数[N];电子报;2005年
4	吕宗清;光子产业 21世纪的朝阳产业[N];经济消息报;2000年
5	;高频补偿技术[N];通信产业报;2002年

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