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全硅集成光学──理论与工艺

赵策洲  
【摘要】:全硅集成光学──理论与工艺赵策洲(博士生)(西安电子科技大学微电子研究所,西安710071)编者按:集成光学随着信息科学的发展而出现,也是光电器件本身发展的必然结果。目前,光集成和光电子集成的研究工作主要集中在LiNbO3和Ⅲ-Ⅴ(或Ⅱ-Ⅳ)族化合物...

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