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非等平面AlGaN紫外探测器阵列挡光技术研究

叶嗣荣  刘小芹  赵文伯  周家万  钟强  
【摘要】:介绍了SiO2/PI1/Al/PI2挡光技术的原理及其制作工艺过程。通过采用SiO2/聚酰亚胺(PI1)/Al/PI2挡光技术,实现了真正意义上的日盲紫外成像。此技术主要应用于日盲型AlGaN紫外焦平面阵列。

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