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用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究

由臣  赵燕平  孙永昌  王玉红  刘技文  
【摘要】:简介了现有金属腌膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置。试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度。

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