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TN032005050001TiO2薄膜制备及其氧敏特性/戴振清,孙以材,潘国峰,孟凡斌,李国玉(河北工业大学微电子研究所)//半导体学报.―2005,26(2).―324～328.采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜,在不同温度下对薄膜进行退火,研究了薄膜晶体结构随退火温度的转化情况.对TiO2薄膜氧敏器件特

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