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《云南师范大学学报(自然科学版)》 2019年05期
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双层柱状结构对声表面波芯片的声场调控仿真

唐帅  梁辰  许丽萍  温廷敦  韩建宁  
【摘要】:通过将双层柱状微结构加工在SAW芯片表面,在COMSOL有限元仿真软件下实现了声波在结构内部的单点聚焦以及多极局域效应,并得出了结构尺寸与声波频率的对应关系.

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